마이크로 LED 어레이의 제조 방법이 개시된다. 성장 기판 상에 형성된 오목부 또는 성장제한패턴에 의하여 상기 오목부 또는 성장제한패턴 상에 수평결정과성장(ELOG)에 의한 저전…
본 발명은 자기정렬된 마이크로 구슬 구조체와 선택적 건식 식각을 이용하여 기판으로부터 일정한 분리거리를 갖는 균일한 주기적 금속 나노 패턴을 제조하는 방법에 관한 것이다. 무기물 …
마이크로 소자의 분리 장치 및 이를 이용한 마이크로 소자의 이송 방법이 개시된다. 성장용 기판 상에 마이크로 사이즈로 개별화된 발광체는 선택적으로 분리되고, 수용 기판에 실장된다.…
발광 동작을 수행할 수 있는 발광 구조체인 마이크로 소자의 이송 방법이 개시된다. 마이크로 소자의 픽업 및 이송을 위해 유도자계가 사용된다. 유도자계를 위한 픽업 및 이송을 위해…
전자 소자를 이종 기판으로 전사하기 위한 방법으로 자기유도 방식을 이송 매체에 적용하여, 형성된 코일 도선에 유도된 자기장에 의해 전자 소자를 픽업하고 이송 및 릴리즈하여 전사 …
마이크로 소자의 픽업, 이송 및 릴리즈 동작이 효율적으로 수행될 수 있는 이송 헤드가 제공된다. 이송 헤드를 구성하는 자기 코어 주변에는 코어부가 구성된다. 코어부는 자기 코어 주…
마이크로 소자의 픽업, 이송 및 릴리즈 동작이 효율적으로 수행될 수 있는 이송 어레이가 제공된다. 이송 어레이에는 가변 자성체가 구비되고, 하부의 라인 패턴을 흐르는 전류에 의해 …
마이크로 소자 어레이의 구조 및 마이크로 소자 어레이의 형성방법이 개시된다. 마이크로 소자는 발광 다이오드를 마이크로 사이즈로 형성한 것으로 디스플레이에 사용될 수 있다. 전사 기…
유기발광다이오드 및 이의 제조방법이 제공된다. 구체적으로, 애노드 하부에 자성구조체를 배치하고, 애노드 상부에 발광요소층 및 캐소드를 순차적으로 적층한 유기발광다이오드를 제공할 수…
발광다이오드의 제조방법 및 이에 의해 제조된 발광다이오드가 제공된다. 상세하게는, 발광구조물 상에 요철 패턴을 형성하고, 상기 요철 패턴 상에 나노스피어층을 이식하여 건식식각을 수…