자기유도 기반의 마이크로 소자 이송 헤드
Transfer Header of Micro Device based on Magnetic Induction
출원번호 : 1020160156509 / 20161123
등록번호 : 1018682290000 / 20180608

광주과학기술원 박성주,임용철,이광재

초록

마이크로 소자의 픽업, 이송 및 릴리즈 동작이 효율적으로 수행될 수 있는 이송 헤드가 제공된다. 이송 헤드를 구성하는 자기 코어 주변에는 코어부가 구성된다. 코어부는 자기 코어 주변을 감싸면서 형성되고, 전류의 흐름과 방향에 따라 자기력을 발생한다. 이를 통해 척력과 인력을 자성체가 구비된 마이크로 소자에 선택적으로 인가할 수 있다.

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