마이크로 소자 분리 장치 및 이를 이용하는 마이크로 소자의 이송 방법
Separating Apparatus of Micro Device and Method of transporting the Micro Device using the same
출원번호 : 1020170011895 / 20170125
등록번호 : 1018742300000 / 20180627

광주과학기술원 박성주,임상엽,임용철,박윤정

초록

마이크로 소자의 분리 장치 및 이를 이용한 마이크로 소자의 이송 방법이 개시된다. 성장용 기판 상에 마이크로 사이즈로 개별화된 발광체는 선택적으로 분리되고, 수용 기판에 실장된다. 마이크로 소자의 선택적 분리는 분리 장치에 구비된 선택적 광 반사부를 통해 수행된다. 선택적 광 반사부는 개별화된 발광체에 대한 정보에 상응하여 성장용 기판으로부터 분리될 수 있는 발광체를 선택한다.

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