자기유도 기반의 마이크로 소자 이송 어레이 및 마이크로 소자의 이송 방법
Transfer Array of Micro Device based on Magnetic Induction and Method of transferring the Micro Device
출원번호 : 1020160156548 / 20161123
등록번호 : 1018741990000 / 20180627

광주과학기술원 박성주,이광재,임용철

초록

마이크로 소자의 픽업, 이송 및 릴리즈 동작이 효율적으로 수행될 수 있는 이송 어레이가 제공된다. 이송 어레이에는 가변 자성체가 구비되고, 하부의 라인 패턴을 흐르는 전류에 의해 자화는 결정된다. 이를 통해 척력과 인력을 고정 자성층이 구비된 마이크로 소자에 선택적으로 인가할 수 있다.

대표청구항

기판;
상기 기판 상에 형성된 도전성의 라인 패턴; 및
상기 라인 패턴 상에 형성되고, 상기 라인 패턴을 흐르는 전류의 방향에 따라 자화 방향을 변경할 수 있는 가변 자성층을 포함하고,
상기 라인 패턴은,
일직선 상에 형성된 배선층;
상기 배선층에 전기적으로 연결되고, 상기 가변 자성층을 수용하기 위한 자성 수용층을 포함하고,
상기 가변 자성층은 상기 자성 수용층을 흐르는 전류에 의해 일측이 N극으로 자화되고, 타측이 S극으로 자화되어 하나의 상기 가변 자성층의 동일 평면에서 상기 N극과 상기 S극이 동시에 나타나는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자의 이송 어레이.

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