광학 바이오센서를 위한 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
Method of fabricating periodic metal nanopatterns for optical biosensors
출원번호 : 1020170045920 / 20170410
등록번호 : 1018786000000 / 20180709

광주과학기술원 김민곤,임상엽,임용철,김나영,김준헌,장형준

초록

본 발명은 자기정렬된 마이크로 구슬 구조체와 선택적 건식 식각을 이용하여 기판으로부터 일정한 분리거리를 갖는 균일한 주기적 금속 나노 패턴을 제조하는 방법에 관한 것이다. 무기물 마이크로 구슬 구조체를 사용하여 선택적·연속적 식각 공정이 가능하여 공정 과정을 간단하게 할 수 있다. 또한 기판과의 분리 거리, 패턴의 크기, 형상, 너비, 두께, 간극, 밀도와 같은 요소들을 세밀하게 조절 가능하며, 잔여물이 남지 않는 공정을 통해 바이오센서의 민감도를 크게 향상시킬 수 있다.

대표청구항

기판 상에 투명막층을 형성하는 단계;
상기 투명막층 상에 자기정렬된 마이크로 구슬 구조체를 형성하는 단계;
상기 마이크로 구슬 구조체를 식각하여 간극을 형성하는 단계;
상기 마이크로 구슬 구조체를 마스크로 이용하여, 상기 마이크로 구슬 구조체의 간극에 노출된 상기 투명막층만을 선택적으로 식각하여 주기적 구조를 갖는 나노 패턴 지지대를 형성하는 단계;
상기 투명막층은 식각하지 않고 상기 마이크로 구슬의 표면만을 선택적으로 식각하는 가스를 이용하여 상기 마이크로 구슬 구조체를 2차 식각하여 나노 패턴 영역을 오픈하는 단계;
상기 나노 패턴 영역에 금속을 증착하여 금속 나노 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 마이크로 구슬 구조체를 제거하는 단계를 포함하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법.

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