마이크로 LED 어레이의 제조 방법이 개시된다. 성장 기판 상에 형성된 오목부 또는 성장제한패턴에 의하여 상기 오목부 또는 성장제한패턴 상에 수평결정과성장(ELOG)에 의한 저전위・고품질의 반도체 박막이 형성된다. 상기 오목부 또는 상기 성장제한패턴 영역 내에 정렬되도록 반도체 박막 상에 형성된 셀 마스크 패턴을 사용하여 식각한다. 이를 통하여 각 마이크로 LED 셀을 개별화 하면서 동시에 고전위 영역을 제거할 수 있다. 따라서 광출력이 향상되고, 발광 파장이 균일하며, 수용기판으로의 전사가 용이한 마이크로 LED 어레이를 제조할 수 있다.