희생층을 이용한 마이크로 소자의 이송방법
Method of Transporting Micro-device using Sacrificial Layer
출원번호 : 1020170011036 / 20170124
등록번호 : 1019380440000 / 20190107

광주과학기술원 박성주,임용철,이광재

초록

발광 동작을 수행할 수 있는 발광 구조체인 마이크로 소자의 이송 방법이 개시된다. 마이크로 소자의 픽업 및 이송을 위해 유도자계가 사용된다. 유도자계를 위한 픽업 및 이송을 위해 발광 구조체 상에는 표면 평탄화층 및 자성층이 형성된다.

대표청구항

성장용 기판 상에 개별화된 발광 구조체를 형성하는 단계;
상기 발광 구조체 상에 상기 발광 구조체의 평탄화를 위해 표면 평탄화층 및 상기 표면 평탄화층 상에 특정 방향으로 자화된 자성층을 형성하는 단계;
상기 자성층에 이송 헤드를 통해 유도 자계를 인가하고, 상기 성장용 기판으로부터 발광 구조체를 분리하여 이송 헤드로 상기 발광 구조체를 픽업하는 단계; 및
상기 이송 헤드에 접합된 상기 발광 구조체를 수용 기판 상에 접합하고, 상기 발광 구조체로부터 상기 이송 헤드를 분리하는 단계를 포함하는 마이크로 소자의 이송 방법.

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