측면 발광 동작이 수행되는 자외선 발광 다이오드 및 그 제조방법이 개시된다. 기판으로부터 함몰된 활성 영역의 내부에 발광 구조체가 형성되며, 발광 구조체는 기판의 표면과 평행한 방…
기판 상에 제1 마스크층을 형성하고 상기 제1 마스크층 상에 제2 마스크층을 형성하는 단계; 상기 제1 마스크층 및 상기 제2 마스크층을 건식 식각하여 상기 기판의 일부가 오프닝된…
