기판 상에 제1 마스크층을 형성하고 상기 제1 마스크층 상에 제2 마스크층을 형성하는 단계; 상기 제1 마스크층 및 상기 제2 마스크층을 건식 식각하여 상기 기판의 일부가 오프닝된…
