자외선 발광 다이오드 및 이의 제조방법
UV-Light Emitting Diode and Methode of manufacturing the same
출원번호 : 1020160051009 / 20160426
등록번호 : 1017430260000 / 20170529

광주과학기술원 이동선,공득조,이준엽,박문도

초록

측면 발광 동작이 수행되는 자외선 발광 다이오드 및 그 제조방법이 개시된다. 기판으로부터 함몰된 활성 영역의 내부에 발광 구조체가 형성되며, 발광 구조체는 기판의 표면과 평행한 방향의 성장을 통해 형성된다. 또한, 발광 구조체 상부 또는 하부에는 반사 금속층이 형성되어, 발광 구조체의 성장 방향인 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 자외선을 배출할 수 있다.

대표청구항

기판;
상기 기판의 표면으로부터 함몰되고, 기판의 저면과 측면을 노출하는 활성 영역;
상기 활성 영역의 제1 방향 측벽을 제외한, 상기 기판의 돌출부 상부, 활성 영역의 저면 및 나머지 측벽에 형성된 절연물층;
일부 노출된 상기 활성 영역의 측면을 근거로 기판과 평행한 제1 방향으로 성장된 n형 반도체층, 활성층 및 p형 반도체층을 가지는 발광 구조체;
상기 n형 반도체층 상에 형성된 음극; 및
상기 p형 반도체층 상에 형성된 양극을 포함하는 자외선 발광 다이오드.

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