기판 상에 제1 마스크층을 형성하고 상기 제1 마스크층 상에 제2 마스크층을 형성하는 단계; 상기 제1 마스크층 및 상기 제2 마스크층을 건식 식각하여 상기 기판의 일부가 오프닝된…
성장용 기판, 이를 이용한 발광 다이오드 및 질화갈륨 발광 다이오드 제조방법이 개시된다. 상술한 성장용 기판을 이용한 발광 다이오드 및 그의 제조방법은 마스크패턴을 이용한 선택적 …
