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실리콘 DBR 구조가 집적된 광 소자 및 그 제조방법

본 발명은 실리콘 DBR 구조가 집적된 광 소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 알루미늄 조성비에 따라 서로 다른 굴절률을 갖는 두 반도체 물질층이 교번되게 적층되어 형성된 하부반…

광주과학기술원 이용탁,장성준,송영민