광학계 및 이를 구비한 간섭계가 개시된다. 광학계는 빔을 조사하는 광원부와, 빔의 진행 경로에 배치되어 빔을 수광하고 빔의 편광 성분에 기초하여 기준빔이 제1 광경로를 갖고, 조사…
본 발명은 레이저 스캐너에서 중간 주파수 신호를 이용한 복조를 통해 광신호의 위상을 계산하는 장치와 그 방법, 및 상기 장치를 구비하는 레이저 스캐너에 관한 것이다. 본 발명은 미…
