X선 홀로그래피 이미징 장치 및 이미징 방법
An X-ray holographic imaging device and an imaging method thereof
출원번호 : 1020160117402 / 20160912
등록번호 : 1017221640000 / 20170327

광주과학기술원,기초과학연구원 이경환,김형택,남창희

초록

본 발명은 대면적 샘플용 X선 홀로그래피 현미경 측정장치 및 측정방법을 개시한다. 개시된 본 발명은 레퍼런스가 없는 샘플의 자기상관(autocorrelation) 신호 획득용 홀로그램 회절 이미지를 얻는 단계; 상기 샘플에 레퍼런스를 추가하여 홀로그램 이미지를 얻는 단계; 2개의 홀로그램을 퓨리에 변환하여 이미지를 비교하는 단계; 2개의 이미지 차를 통하여 숨겨진 샘플 이미지를 복원하는 단계;를 포함한다.

대표청구항

특정 파장의 결맞은(coherent) X선을 생성하는 한 개의 X선 광원부;
상기 생성된 X선이 조사되는 샘플을 거치하는 샘플부; 및
상기 샘플을 통과한 X선을 인가받아 상기 샘플부 내에 레퍼런스의 구비 여부에 따라 상기 X선이 상기 샘플만 통과한 경우와 상기 샘플 및 상기 레퍼런스를 통과한 경우 획득되는 복수의 홀로그램 이미지의 차이를 비교하여 상기 샘플의 이미지를 복원하는 검출부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 홀로그래피 이미징 장치.

대표이미지