그래핀 반도체 접합 소자
Graphene semiconductor junction device
출원번호 : 1020190157819 / 20191129
초록
본 발명은 그래핀 엣지부와 반도체가 접촉되지 않는 구조를 가지는 그래핀 반도체 접합 소자에 관한 것으로서, 기판; 상기 기판 상에 위치하는 게이트 전극; 상기 기판 상에 위치하되, 상기 게이트 전극을 덮도록 위치하는 게이트 절연층; 상기 게이트 절연층 상에 위치하는 그래핀층; 상기 그래핀층 상에 위치하되, 상기 그래핀층의 엣지부에 접합하지 않도록 위치하는 반도체층; 상기 반도체층 상에 위치하는 드레인 전극; 및 상기 그래핀층 상에 위치하되, 상기 반도체층과 이격하여 위치하는 소스 전극을 포함하는 그래핀 반도체 접합 소자를 제공한다.