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마이크로 렌즈 어레이 제조용 몰드의 제조 방법

본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 렌즈 어레이 제조용 몰드의 제조 방법에 있어서, 석영 기판에 폴리 실리콘을 증착하는 과정; 상기 증착된 폴리 실리콘의 상단에 감광제를 도포하…

광주과학기술원,국방과학연구소 송영민,이중훈,이길주,김민석,김현명