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공초점 광학계 및 낮은 결맞음 간섭계를 이용한 시료의두께 및 굴절률 측정 방법 및 이를 이용한 측정 장치

시료의 두께와 굴절률을 동시에 측정하는 방법 및 장치가 개시된다. 제 1 중심 파장을 가지는 광을 이용하여 공초점 광학계를 통해 시료의 두께와 위상 굴절률에 관한 제 1 관계식을 …