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기 술 명
투명 전극 제조방법(METHOD FOR MANUFACTURING TRANSPARENT ELECTRODE)
연 구 자
정건영(신소재공학부)
등록번호
10-1544723-00-00
출원번호
10-2013-0041721
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

용액법을 이용하는 투명 전극 제조방법이 개시된다. 이러한 제조방법은 (가) 기판 상에 다수개의 트렌치홈 라인을 가지는 템플릿을 형성하는 단계와, 템플릿 상에 적어도 다수개의 트렌치홈 라인을 매립하도록 전도성 물질을 배치하는 단계와, (다) 다수개의 트렌치홈 라인에 매립된 전도성 물질을 남기고 템플릿 및 템플릿 상의 전도성 물질을 제거하는 단계를 포함한다. 기판으로는 글라스 또는 플렉시블 PET, PI, 금속 호일, PEN, PC, PES, COC, PAR이 이용될 수 있다. 고가의 진공 시스템의 사용 없이, 용액법을 적용한 연속공정으로 투명한 격자 전극을 형성할 수 있다.

발명효과

본 발명에 따르면, 전체 용액법 공정(all-solution processed) 투명 전극이 제공된다. 더구나 본 발명은 투명 전극 제조방법은 진공장비를 이용하는 고비용 공정을 진행하지 않을 뿐만 아니라 이를 연속공정으로 진행할 수도 있기 때문에, 획기적으로 비용절감이 이루어질 수 있다. 이렇게 제조된 금속 격자 투명 전극은 글라스와 같은 리지드 기판이나 PET과 같은 플렉시블 기판에 모두 적용될 수 있으며, 격자 전극에 의한 투과도 저하가 비교적 낮기 때문에 투명 반도체 장치에 채용되어 투명 디스플레이와 같은 반도체 장치의 구동유닛으로 적용될 수 있다.

대표청구항

투명 전극 제조방법으로서: (가) 기판 상에 다수개의 트렌치홈 라인을 가지는 템플릿을 형성하는 단계; (나) 상기 템플릿 상에 적어도 상기 다수개의 트렌치홈 라인을 매립하도록 전도성 물질 용액을 스핀코팅, 드롭핑, 또는 닥터블레이드법을 이용하여 도포하는 단계; 및 (다) 상기 다수개의 트렌치홈 라인에 매립된 전도성 물질을 남기고 상기 템플릿 및 상기 템플릿 상의 전도성 물질을 제거하는 단계;를 포함하고, 상기 단계 (가)에서 상기 템플릿의 형성은, 투명 기판 상면에 폴리머 물질층으로서 포토레지스트층을 형성하는 단계와, 경성과 연성을 함께 가지는 격자 스탬프를 이용하여 폴리머 물질층에 바닥에 상기 기판을 노출하는 격자형 트렌치홈을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 단계 (나)와 (다) 사이에 상기 전도성 물질 용액에서 솔벤트를 제거한 후, 상기 단계 (다)에서 아세톤을 이용하여 상기 템플릿을 제거함으로써 상기 템플릿 상의 전도성 물질을 함께 제거하는 것인, 투명 전극 제조방법.