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기 술 명
촉매층을 구매하는 가스센서 및 이의 동작방법
연 구 자
조병기(신소재공학부)
등록번호
10-1113315-00-00
출원번호
10-2009-0106871
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

가스센서 및 이의 동작방법을 제공한다. 상기 가스센서는 배면 상에 히터를 구비하는 기판, 상기 기판의 상부면 상에 배치되는 가스 감지층, 상기 가스 감지층 상에 배치되고, +1.7V 이상의 산화환원전위를 가지는 금속촉매로 이루어진 촉매층, 및 상기 가스 감지층과 전기적으로 접속하는 전극을 포함한다. 또한, 상기 가스센서 동작방법은 배면 상에 히터를 구비하는 기판, 상기 기판의 상부면 상에 배치되는 가스 감지층, 상기 가스 감지층 상에 배치되고, +1.7V 이상의 산화환원전위를 가지는 금속촉매로 이루어진 촉매층, 및 상기 가스 감지층과 전기적으로 접속하는 전극을 구비하는 가스센서를 제공하는 단계, 상기 히터를 동작시켜, 상기 가스 감지층에 동작온도를 인가시키고, 가스에 노출시키는 단계, 및 상기 가스 감지층의 저항 변화를 측정하는 단계를 포함한다.

발명효과

가스 감지층 상에 촉매층을 형성하여 가스센서를 구성하는 경우, 상기 촉매층에 구비된 촉매가 상기 가스 감지층과 상기 가스와의 반응을 가속화시켜 줄 수 있으므로, 상기 가스센서의 높은 민감도 및 빠른 반응시간을 확보할 수 있다.

대표청구항

배면 상에 히터를 구비하는 기판; 상기 기판의 상부면 상에 배치되는 가스 감지층; 상기 가스 감지층 상에 0.0025nm 내지 0.01nm의 두께로 형성되고, +1.7V 이상의 산화환원전위를 가지는 금속촉매인 Ph를 구비하는 촉매층; 및 상기 가스 감지층과 전기적으로 접속하는 전극을 포함하는 오존 가스센서.