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기 술 명
탄소 나노 튜브의 제조 방법
연 구 자
정성호(기전공학부)
등록번호
10-1015309-00-00
출원번호
10-2008-0061500
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

제조 공정이 간단하고, 균일한 패턴을 구비하는 탄소 나노 튜브의 제조 방법이 개시된다. 탄소 나노 튜브의 제조 방법은 기판 상부면 상에 광열변환층 및 촉매층을 형성하는 단계, 촉매층 상에 반응가스를 흘려주는 단계 및 기판 하부면 상에 레이저 빔을 조사하여 촉매층 상에 탄소나노튜브를 형성하는 단계를 포함한다.

발명효과

본 발명에 따르면 패터닝 공정이 간단하여 원하는 형상으로의 패터닝이 용이하며, 집속력이 좋고, 균일한 온도를 구비하는 레이저 빔을 조사함으로서 균일 하고, 미세한 탄소 나노 튜브를 형성할 수 있다. 따라서, 고성능, 고효율의 나노 전기전자 및 전계방출 소자 등의 다양한 탄소나노튜브 응용산업에 널리 활용될 수 있는 효과가 있다.

대표청구항

투명 기판 상부면 상에 광열변환층 및 촉매층을 형성하는 단계; 상기 촉매층 상에 반응가스를 흘려주는 단계; 및 상기 기판 하부면 상에 가시광선 레이저 빔을 조사하여 상기 촉매층 상에 탄소나노튜브를 형성하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브의 제조 방법.