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기 술 명
미세바늘 및 그 제조방법
연 구 자
이종현(기전공학부)
등록번호
10-1337487-00-00
출원번호
10-2009-0122486
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

미세바늘 및 그 제조방법이 개시된다. 면지수 {110}인 실리콘 기판을 결정성 습식 에칭에 의해 형성된 면내(in-plane)의 미세바늘을 제공한다. 미세바늘의 팁(tip) 형상이 여러가지 형태를 갖는 미세바늘을 제공한다. 또한, 미세바늘 팁을 제외한 미세바늘의 연장부의 측벽이 수직의 {111} 결정면을 따라 정렬된 미세바늘을 제공한다. 미세바늘의 팁 어레이는 {110} 실리콘 기판의 상면 및 하면에 형성된다.

발명효과

본 발명의 미세바늘 및 그 제조방법에 따르면 다음과 같은 효과가 있다. 첫째, 실리콘 결정성 습식 에칭에 의해 {110} 실리콘 기판의 면내(in-plane)에 미세바늘을 경제적으로 제조할 수 있다. 둘째, 다양한 형상의 팁을 갖는 갖는 미세바늘을 제공함으로써 원하는 용도에 맞게 미세바늘을 적용할 수 있다. 셋째, 실리콘 결정성 습식 에칭에 의해 실리콘 기판의 상부 및 하부에 복수의 연장부를 갖는 미세바늘을 제공할 수 있다. 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과들에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과는 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

대표청구항

면지수가 {110}인 실리콘 기판으로 이루어지며 유체를 저장하기 위한 리저버(reservoir)를 포함하는 몸체부; 및 면지수가 {110}인 실리콘 기판으로 이루어지고, 상기 몸체부의 일부분에 일체로 연결되며 미세채널이 형성된 적어도 하나의 연장부를 포함하고, 상기 연장부의 팁(tip)의 형상은 상기 연장부를 상기 기판의 <110> 방향으로 투영시킬 경우, 팁의 각도가 5°내지 30°중 선택된 어느 하나의 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 미세바늘.