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기 술 명
레이저 간섭계 및 광신호 정렬장치를 결합한 레이저 간섭계
연 구 자
이종현(기전공학부)
등록번호
10-1198910-00-00
출원번호
10-2009-0046446
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

레이저 간섭계 및 광신호 정렬 장치를 결합한 레이저 간섭계를 제공한다. 광신호 정렬 장치를 결합한 레이저 간섭계에 있어서, 광신호를 방출하기 위한 광원부, 피측정체의 이동 방향과 평행하도록 광신호를 피측정체에 조사하고, 피측정체에서 반사된 반사광신호를 집속하기 위한 광도파로부, 반사광신호를 분석하여 광도파로부의 위치를 정렬하기 위한 정렬제어부 및 기준광신호와 반사광신호 간의 간섭신호를 분석하여 피측정체에 대한 정보를 생성하기 위한 정보제어부를 포함하여 구성되는 제어부 및 광원부에서 방출된 광신호의 일부를 광도파로부에 제공하고, 광도파로부에서 제공받은 반사광신호를 제어부에 제공하며, 광원부에서 방출된 광신호의 나머지를 기준광신호로 제어부에 제공하기 위한 광경로부를 포함하여 구성될 수 있다. 따라서 피측정체의 변위 및 속도를 정밀하게 측정할 수 있다. 피측정체의 반사면으로의 입사 각도를 조절하기 위하여 광신호를 정렬하면 한층 정밀하고 정확한 피측정체에 대한 변위 및 속도를 측정할 수 있다.

발명효과

본 발명에 따른 레이저 간섭계 및 광신호 정렬 장치를 결합한 레이저 간섭계에 따르면, 피측정체의 변위 및 속도를 정밀하게 측정할 수 있다. 경사단면의 끝을 제거하여 공간적으로 협소하고 피측정체의 반사면의 크기가 작은 경우에도 피측정체를 측정할 수 있으며, 경사단면 및 수직단면의 광도파로를 사용할 수 없을 정도로 피측정체의 반사면의 크기가 작은 경우에도 외부 경사면을 이용하여 피측정체를 측정할 수 있다. 또한, 광신호 정렬에 의하여 피측정체를 정밀하게 측정할 수 있으며, 외부 경사면을 이용하여 광신호 정렬의 효율을 극대화할 수 있다. 광도파로를 이용하므로 측정 시 나타날 수 있는 외란에 의한 오류를 최소화할 수 있다. 특히, 피측정체의 반사면으로의 입사 각도를 조절하기 위하여 광신호 정렬 장치를 결합하여 활용하면, 정렬된 광신호를 이용하여 한층 정밀하고 정확한 피측정체에 대한 변위 및 속도를 측정할 수 있다.

대표청구항

레이저 간섭계에 있어서, 광신호를 방출하기 위한 광원부; 한쪽 끝이 경사단면이며, 피측정체의 이동 방향과 평행하도록 상기 광신호를 상기 피측정체에 조사하고, 상기 피측정체에서 반사된 반사광신호를 집속하기 위한 광도파로부; 기준광신호와 상기 반사광신호 간의 간섭신호를 분석하여 상기 피측정체에 대한 정보를 생성하기 위한 정보제어부; 상기 광원부에서 방출된 광신호의 일부를 상기 광도파로부에 제공하고, 상기 광도파로부에서 제공받은 상기 반사광신호를 상기 정보제어부에 제공하며, 상기 광원부에서 방출된 광신호의 나머지를 상기 기준광신호로 상기 정보제어부에 제공하기 위한 광경로부; 및 상기 반사광신호를 분석하여 상기 광도파로부의 위치를 정렬하기 위한 정렬제어부를 포함하여 구성되는 레이저 간섭계.