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기 술 명
마이크로렌즈의 제조방법
연 구 자
이용탁(정보통신공학부)
등록번호
10-1338354-00-00
출원번호
10-2007-0140579
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

본 발명은 마이크로렌즈의 제조방법에 관한 것으로, 상면에 단턱부가 형성된 기판을 구비하는 단계와, 상기 단턱부를 포함한 기판의 전체 상부면에 보호막을 형성하는 단계와, 상기 단턱부의 상면에 곡률 반경을 갖는 마이크로렌즈가 형성되도록 상기 보호막의 전면을 식각하는 단계와, 상기 단턱부의 상부가 렌즈의 형태를 갖도록 상기 마이크로렌즈를 포함한 기판의 전면을 식각하는 단계를 더 포함함으로써, 마이크로렌즈와 광전소자를 자기정렬 구조로 집적할 수 있으며, 마이크로렌즈를 형성하기 위한 부가적인 공정을 필요로 하지 않기 때문에 보다 저렴하게 마이크로렌즈가 집적된 광전소자를 제작할 수 있는 효과가 있다.

발명효과

본 발명의 마이크로렌즈의 제조방법에 따르면, 마이크로렌즈가 집적된 광전소자를 제작함에 있어서, 마이크로렌즈의 중심이 광소자의 활성층과 자기정렬 구조를 가지므로 부가적인 리소그라피(Lithography)공정 없이도 마이크로렌즈를 집적할 수 있기 때문에 제작공정을 단순화 할 수 있으며, 패키징 비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.

대표청구항

(a) 상면에 단턱부가 형성된 기판을 구비하는 단계; (b) 상기 단턱부를 포함한 기판의 전체 상부면에 보호막을 형성하는 단계; (c) 상기 단턱부 상면의 상기 보호막이 곡률반경을 갖는 마이크로 렌즈 형상을 가지도록 상기 보호막의 전면을 식각하는 단계; 및 (d) 상기 단턱부의 상부가 렌즈의 형태를 갖도록 상기 마이크로렌즈를 포함한 기판의 전면을 건식 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로렌즈의 제조방법.