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기 술 명
광배선 구조물 및 그 제조방법
연 구 자
이용탁(정보통신공학부)
등록번호
10-1251028-00-00
출원번호
10-2008-0039080
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

본 발명은 광배선 구조물 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상면에 곡률반경을 갖도록 적어도 하나의 렌즈 형성용 홈이 구비된 실리콘 기판; 및 상기 렌즈 형성용 홈의 형상이 유지되도록 상기 렌즈 형성용 홈을 포함한 실리콘 기판 상에 형성된 실리카층을 포함함으로써, 대부분의 공정이 반도체 공정 장비를 통해 수행되어 대량 생산이 가능하며, 기존 PCB 기판에 비해 좋은 열특성을 갖는 효과가 있다.

발명효과

본 발명의 광배선 구조물 및 그 제조방법에 따르면, 실리콘 기판을 이용한 마이크로렌즈가 집적된 광배선 구조물을 제조함으로써 대부분의 공정이 반도체 공정 장비를 통해 수행되어 대량 생산이 가능하며, 기존 PCB 기판에 비해 좋은 열특성을 갖는 이점이 있다. 또한, 본 발명에 의하면, 마이크로렌즈가 집적된 광배선 구조를 갖기 때문에 추가적인 렌즈를 별도로 장착할 필요가 없는 이점이 있다.

대표청구항

상면에 곡률반경을 갖도록 적어도 하나의 렌즈 형성용 홈이 구비된 실리콘 기판; 및 상기 렌즈 형성용 홈의 형상이 유지되도록 상기 렌즈 형성용 홈을 포함한 실리콘 기판 상에 형성된 실리카층을 포함하는 광배선 구조물.