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기 술 명
열유속 센서의 분해능을 측정하는 시스템 및 그 방법
연 구 자
이선규(기전공학부)
등록번호
10-1053490-00-00
출원번호
10-2009-0028679
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

본 발명은 히터 모듈레이션을 통해 저주파 노이즈를 감소시키는 열유속 센서의 분해능을 측정하는 시스템 및 그 방법을 개시한다. 본 발명은 적어도 하나의 열전대쌍을 구비하는 열 감지부와, 열 감지부의 양측에 메인 히터와 보조 히터를 각각 구비하는 열유속 센서의 분해능 측정 시스템으로서, 메인 히터를 가열하기 위한 전류를 발생시키는 전류 공급부; 미리 정해진 소정 주파수의 기준 신호를 출력하며, 기준 신호를 열유속 센서로 전송시키는 주파수 생성부; 공급되는 전류 및 기준 신호에 따라 열 감지부로로부터 출력되는 제1 신호와 주파수 생성부가 출력시킨 기준 신호를 수신하며, 수신된 제1 신호로부터 수신된 기준 신호를 이용하여 잡음을 제거시키는 잡음신호 제거부; 및 잡음이 제거된 제2 신호로부터 열유속 센서의 분해능 값을 계산하는 분해능 계산부를 포함하는 것을 특징으로 하는 열유속 센서 분해능 측정 시스템을 제공한다. 본 발명에 따르면, 저주파 노이즈 감소를 통해 열유속 센서의 측정 분해능을 비약적으로 향상시킬 수 있으며, 측정 민감도가 높은 선형성을 가질 수 있다.

발명효과

본 발명에 따르면, 열전대쌍 주변에 히터를 배치시키고 이 히터를 AC 모듈레이션함으로써 다음 효과를 얻을 수 있다. 첫째, 저주파 노이즈를 감소시켜 센서의 측정 분해능을 비약적으로 향상시킬 수 있다. 둘째, 측정 민감도가 높은 선형성을 가질 수 있다.

대표청구항

적어도 하나의 열전대쌍을 구비하는 열 감지부와, 상기 열 감지부의 양측에 메인 히터와 보조 히터를 각각 구비하는 열유속 센서의 분해능 측정 시스템으로서, 상기 메인 히터를 가열하기 위한 전류를 발생시키는 전류 공급부; 미리 정해진 소정 주파수의 기준 신호를 출력하며, 상기 기준 신호를 상기 열유속 센서로 전송시키는 주파수 생성부; 상기 공급되는 전류 및 상기 기준 신호에 따라 상기 열 감지부로로부터 출력되는 제1 신호와 상기 주파수 생성부가 출력시킨 기준 신호를 수신하며, 상기 수신된 제1 신호로부터 상기 수신된 기준 신호를 이용하여 잡음 신호가 큰 주파수 영역에서 잡음을 제거시키는 잡음신호 제거부; 및 상기 잡음이 제거된 제2 신호로부터 상기 열유속 센서의 분해능 값을 계산하는 분해능 계산부 를 포함하는 것을 특징으로 하는 열유속 센서 분해능 측정 시스템.