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기 술 명
페릴렌 코팅층을 이용하는 PDMS 기반의 유연성 전극 및 그 제조 방법
연 구 자
김소희(기전공학부)
등록번호
10-1241337-00-00
출원번호
10-2011-0009471
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

페릴렌 코팅층을 이용하는 PDMS 기반의 유연성 전극 및 그 제조 방법이 개시된다. 보다 상세하게는, 본 발명은 PDMS 기판의 상부에 형성되는 페릴렌(parylene) 코팅층 및 페릴렌 코팅층의 상부에 미리 결정된 패턴으로 형성되는 금속 패턴을 포함하는 것으로, 탄성 중합체인 PDMS에 직접 금속을 도포하여 금속 패턴을 생성하는 경우 금속 도포 공정에서 발생하는 에너지에 의해 금속 패턴에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 유연성 전극 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

발명효과

본 발명에 따르면, 유연성 전극에 형성된 금속 전극에 크랙이 발생됨을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명은 페릴렌 코팅층을 사용하는 것에 의해서 금속 패턴의 크랙을 효과적으로 방지할 수 있어 기계적, 전기적으로 안정적 금속 패턴을 형성 할 수 있다. 따라서, 유연성 전극의 제작 단가와 제작 시간을 줄이는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 PDMS 기판의 다공성 특성을 페릴렌 코팅층에 의해 차단할 수 있어, 금속 패턴의 크랙 방지 및 PDMS 기판의 수분 흡수에 따른 기기 내부의 전극의 단락을 방지할 수 있는 장점이 있다.

대표청구항

PDMS(PolyDiMethylSiloane) 기반의 유연성 전극에 있어서, PDMS 기판; 상기 PDMS 기판의 상부에 형성되는 페릴렌(parylene) 코팅층; 및 상기 페릴렌 코팅층의 상부에 미리 결정된 형상으로 형성되는 금속 패턴을 포함하고, 상기 페릴렌 코팅층은 상기 금속 패턴이 형성되지 않은 영역에서 상기 PDMS기판이 노출되도록 형성된 것임을 특징으로 하는 유연성 전극.