에너지

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기 술 명
레이저 유도 붕괴 분광법을 이용한 CIGS 박막 내 물질 분포의 실시간 측정 장치가 구비된 CIGS 박막 태양전지 제조 공정 시스템
연 구 자
정성호(기전공학부)
등록번호
10-1237847-00-00
출원번호
10-2011-0070701
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

본 발명은 CIGS 박막 태양전지 제조 공정 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 레이저 유도 붕괴 분광법을 이용하여 CIGS 박막의 물질 분포 상태를 실시간으로 측정할 수 있는 장치가 구비된 CIGS 박막 태양전지 제조 공정 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 CIGS 박막 태양전지의 제조를 위한 공정 대상물을 연속적으로 이송시키는 대상물 이송부; 이송 중인 상기 공정 대상물에 CIGS 박막 제조 공정을 수행하는 박막 제조 공정부; 상기 박막 제조 공정부에 의하여 제조된 CIGS 박막에 레이저 빔을 조사하는 하나 이상의 레이저 조사부와 상기 조사된 레이저 빔에 의하여 CIGS 박막으로부터 발생된 플라즈마에서 분광을 검출하는 하나 이상의 분광 검출 광학부를 포함하는 하나 이상의 헤더; 상기 대상물의 이송 경로에 결합되고, 상기 박막 제조 공정부에 의하여 제조된 CIGS 박막의 이동속도 및 이동방향과 동일한 속도 및 방향으로 상기 헤더를 이동시키는 헤더 이송부; 각 물질별로 분광 상태 정보가 저장된 분광 정보 저장부; 상기 분광 정보 저장부에 저장된 정보를 기반으로, 상기 분광 검출 광학부에 의해 검출된 분광으로부터 상기 CIGS 박막 내 물질 분포 상태를 분석하는 분광 분석부; 및 상기 분광 분석부에 의하여 분석된 CIGS 박막 내 물질 분포 상태를 기초로 상기 박막 제조 공정부를 제어하는 공정 제어부를 포함하는 CIGS 박막 태양전지 제조 공정 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 시스템에 의하면, CIGS 박막 태양전지 연속생산 공정에서 실시간으로 CIGS 박막의 물질분포를 측정할 수 있어, CIGS 박막의 물리화학적인 특성을 보다 정밀하고 정확하면서도 빠르게 측정할 수 있고, 제조된 CIGS 박막의 이상 여부를 실시간으로 판단하여 CIGS 제조 공정에 피드백함으로써 CIGS 박막 태양전지를 생산하면서 동시에 생산되는 CIGS 박막 태양전지의 품질을 관리할 수 있는 장점이 있다.

발명효과

본 발명의 시스템은 CIGS 박막 태양전지 연속생산 공정에서 실시간으로 CIGS 박막의 물질분포를 측정할 수 있어, CIGS 박막의 물리화학적인 특성을 보다 정밀하고 정확하면서도 빠르게 측정할 수 있고, 제조된 CIGS 박막의 이상 여부를 실시간으로 판단하여 CIGS 제조 공정에 피드백함으로써, CIGS 박막 태양전지를 생산하면서 동시에 생산되는 CIGS 박막 태양전지의 품질을 관리할 수 있는 장점이 있다.

대표청구항

CIGS 박막 태양전지의 제조를 위한 공정 대상물을 연속적으로 이송시키는 대상물 이송부; 이송 중인 상기 공정 대상물에 CIGS 박막 제조 공정을 수행하는 박막 제조 공정부; 상기 박막 제조 공정부에 의하여 제조된 CIGS 박막에 레이저 빔을 조사하는 하나 이상의 레이저 조사부와 상기 조사된 레이저 빔에 의하여 CIGS 박막으로부터 발생된 플라즈마에서 분광을 검출하는 하나 이상의 분광 검출 광학부를 포함하는 하나 이상의 헤더; 상기 대상물의 이송 경로에 결합되고, 상기 박막 제조 공정부에 의하여 제조된 CIGS 박막의 이동속도 및 이동방향과 동일한 속도 및 방향으로 상기 헤더를 이동시키는 헤더 이송부; 각 물질별로 분광 상태 정보가 저장된 분광 정보 저장부; 상기 분광 검출 광학부에 전기적으로 연결되며, 상기 분광 정보 저장부에 저장된 정보를 기반으로, 상기 분광 검출 광학부에 의해 검출된 분광으로부터 상기 CIGS 박막 내 물질 분포 상태를 분석하는 분광 분석부; 상기 분광 분석부에 전기적으로 연결되며, 상기 분광 분석부에 의하여 분석된 CIGS 박막 내 물질 분포 상태를 기초로 상기 박막 제조 공정부를 제어하는 공정 제어부; 및 상기 박막 제조 공정부에 의하여 제조된 CIGS 박막을 패터닝(patterning)하는 스크라이빙(scribing)부를 포함하는 CIGS 박막 태양전지 제조 공정 시스템.