에너지

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기 술 명
물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치 및 방법
연 구 자
정성호(기전공학부)
등록번호
10-1237730-00-00
출원번호
10-2011-0070700
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

반도체 또는 태양전지를 생산하는 공정에서 실시간으로 반도체 또는 태양전지를 형성하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치가 개시된다. 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치는 분석 대상물의 스크라이빙될 위치에 레이저를 조사하여 스크라이빙을 수행하는 레이저 조사부와, 조사된 레이저에 의해 생성된 플라즈마로부터 발생된 분광을 검출하는 분광 검출 광학부와, 분석 대상물을 형성하는 각 물질의 분광 상태 정보를 저장하는 분광 정보 저장부와, 분광 상태 정보와 검출된 분광을 비교하여 물질의 분포 상태 정보를 분석하는 분광 분석부를 포함하여 구성된다. 따라서, 반도체 또는 태양전지를 형성하는 물질의 분포를 실시간으로 정확히 측정할 수 있고, 스크라이빙 공정을 수행함과 동시에 물질의 분포를 측정하므로 별도의 측정공정을 수행할 필요가 없어 생산성이 증가되고, 제품화가 이루어질 영역의 손상없이 물질의 분포를 측정할 수 있고, 물질의 분포를 측정하기 위한 플라즈마를 발생시키기 위한 별도의 어블레이션(ablation)없이 물질의 분포를 측정할 수 있다.

발명효과

본 발명에 따른 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치 및 방법을 이용할 경우에는 반도체 또는 태양전지를 형성하는 물질의 분포를 실시간으로 정확히 측정할 수 있다. 또한, 반도체 또는 태양전지를 생산하는 공정에서 필수적으로 수행되는 스크라이빙 공정을 수행함과 동시에 반도체 또는 태양전지를 형성하는 물질의 분포를 측정하므로 별도의 측정공정을 수행할 필요가 없어 생산시간이 감소하고, 이에 따른 생산단가가 절감되어 결국 생산성이 증가시킬 수 있다. 또한, 제품화가 이루어질 영역의 손상없이 물질의 분포를 측정할 수 있고, 물질의 분포를 측정하기 위한 플라즈마를 발생시키기 위한 별도의 어블레이션(ablation)이 필요없는 장점이 있다. 또한, 깊이방향 분석(depth profiling)을 이용하여 분석 대상물을 형성하는 물질의 분포를 측정함과 동시에 대상물의 두께도 측정할 수 있다.

대표청구항

분석 대상물의 스크라이빙될 위치에 레이저를 조사하여 스크라이빙을 수행하는 레이저 조사부; 조사된 상기 레이저에 의해 생성된 플라즈마로부터 발생된 분광을 검출하는 분광 검출 광학부; 상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질의 분광 상태 정보를 저장하는 분광 정보 저장부; 및 상기 검출된 분광과 상기 분광 상태 정보를 비교하여 상기 물질의 분포 상태를 분석하는 분광 분석부를 포함하고, 상기 레이저 조사부는 상기 스크라이빙될 위치에 스크라이빙하기 위한 레이저를 조사하는 스크라이빙용 레이저모듈 및 상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질의 분포 상태를 분석하기 위한 레이저를 조사하는 분석용 레이저모듈을 포함하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치.