에너지

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기 술 명
레이저 유도 붕괴 분광법을 이용한 CIGS 박막 내 물질 분포의 실시간 측정 시스템
연 구 자
정성호(기전공학부)
등록번호
10-1237726-00-00
출원번호
10-2011-0070699
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
발명정보

본 발명은 CIGS 박막 태양전지의 연속생산 공정 라인 상에서 실시간으로 CIGS 박막의 물리화학적 특성을 측정할 수 있는 공정제어 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 CIGS 박막의 일부에 레이저 빔을 조사하여 상기 CIGS 박막으로부터 플라즈마를 발생시키는 레이저 조사부와 상기 플라즈마로부터 발생하는 분광을 검출하는 분광 검출 광학부를 포함하는 헤더; 상기 CIGS 박막의 이동속도 및 이동방향과 동일한 속도 및 방향으로 상기 헤더를 이동시키는 헤더 이송부; 및 상기 분광 검출 광학부에 의해 검출된 분광을 분석하는 분광 분석부를 포함하는 CIGS 박막 물질 분포의 실시간 측정 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 시스템은 CIGS 박막 태양전지 연속생산 공정에서 실시간으로 CIGS 박막의 물질분포를 측정할 수 있어, CIGS 박막 태양전지의 성능과 품질을 평가함에 소요되는 노력과 시간을 절약할 수 있고, 효율적으로 일정한 품질의 CIGS 박막 태양전지를 생산하는데 유용하게 이용될 수 있다.

발명효과

본 발명의 시스템은 CIGS 박막 태양전지 연속생산 공정에서 실시간으로 CIGS 박막의 물질분포를 측정할 수 있어, CIGS 박막의 물리화학적인 특성을 보다 정밀하고 정확하면서도 빠르게 측정할 수 있는 바, 제품의 성능과 품질을 평가함에 소요되는 노력과 시간을 절약할 수 있고, 효율적으로 일정한 품질의 CIGS 박막 태양전지를 생산하는데 유용하게 이용될 수 있다.

대표청구항

일 방향으로 연속하여 이송 중인 CIGS 박막의 일부에 레이저 빔을 조사하여 상기 CIGS 박막으로부터 플라즈마를 발생시키는 레이저 조사부와 상기 플라즈마로부터 발생하는 분광을 검출하는 분광 검출 광학부를 포함하는 헤더; 상기 헤더의 상부에 결합되고, 상기 CIGS 박막의 이송과 연동하여 상기 CIGS 박막의 이동속도 및 연속 이동방향과 동일한 속도 및 방향으로 상기 헤더를 이동시키는 헤더 이송부; 및 상기 분광 검출 광학부와 전기적으로 연결되어, 상기 분광 검출 광학부에 의해 검출된 분광을 분석하는 분광 분석부를 포함하고, 상기 헤더가 상기 헤더 이송부에 의해 상기 CIGS 박막의 이송과 연동되어 이동됨으로써, 이송 중인 CIGS 박막의 동일한 위치에서 지속적으로 레이저 빔을 조사하고 분광을 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 CIGS 박막 물질 분포의 실시간 측정 시스템.