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산화아연 박막 및 산화아연 기반 발광소자의 제조방법_연구자 박성주(신소재공학부)

유기금속 화학기상 증착(MOCVD)법을 이용하여 형성된 산화아연 박막층 및 이의 제조방법이 개시된다. 고품질의 박막을 형성하기 위해 계면활성제를 도입함으로써 박막의 수평(lateral) 방향 성장이 용이해진다....

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