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미세바늘 및 그 제조방법_연구자 이종현(기전공학부)

미세바늘 및 그 제조방법이 개시된다. 면지수 {110}인 실리콘 기판을 결정성 습식 에칭에 의해 형성된 면내(in-plane)의 미세바늘을 제공한다. 미세바늘의 팁(tip) 형상이 여러가지 형태를 갖는 미세바늘...

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