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자기조립단분자막을 이용한 패턴 형성방법_연구자 정건영(신소재공학부)

간단한 방법을 이용하여 선명한 패턴의 형성이 가능한 자기조립단분자막을 이용한 패턴 형성방법이 개시되어 있다. 상기 패턴 형성방법은 기판 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 상기 포토레지스트 패턴들 사이에...

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