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기 술 명
실리콘 나노칼럼 어레이 대면적 제작
연 구 자
윤명한(신소재공학부)
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
소개자료
기술개요

- LbL(layer by layer) 적층기법과 습식식각을 이용한 수직형 실리콘 나노칼럼 어레이의 대면적 제작방법

  → 밀도, 직경, 길이 등의 파라미터를 조절 가능한 기술임

기술의 특징/우수성

- 금속촉매식각법의 적용을 위한 나노패터닝 방법으로서 LbL과 콜로이드 리소그래피 방식을 결합하여 기존의 실리콘 나노와이어의 제작방법과 비교했을 때 대면적 제작을 용이하게 함

- 추가적인 개량방법으로 이형  콜로이드 흡착법과 후식각 공정을 통해 기존 식각기전상의 한계를 극복하고 저밀도, 고종횡비의 수직형 나노칼럼 어레이의 제작이 가능해졌으며, 마이크로 패턴이 포토리소그래피 공정 없이 가능해짐

주요기능/사양

- 직경, 길이, 밀도 조건을 개별적으로 조절 가능

- 대면적 제작 가능

- 제작된 나노칼럼 어레이에서 세포무독성 확인

- 마이크로패턴 가능

응용분야

- 제작된 실리콘 나노칼럼을 분산시켜 전기 및 전자소재로 사용 가능

- 수직형 나노칼럼 어레이를 세포배양용 기판으로 사용 가능