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기 술 명
콜로이드 필름 이미징을 위한 부분 암시야 광학현미경
연 구 자
김준헌(고등광기술연구소)
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
소개자료
기술개요

- 광학 현미경의 입사광의 방향을 선택적으로 제한하는 "부분 암시야 모듈"을 이용하여, 유전체 마이크로 입자(콜로이드) 이중막 관찰시 결정구조 차이에 따른 이미지 콘트라스트를 극대화

- 초점 위치 변경 없이도 콜로이드 이중막의 결정 방향 차이에 따른 결함 관련 정보를 신속하고 정확하게 측정 가능

기술의 특징/우수성

- 광학적 비파괴 검사로 빠른 측정이 가능하며 시료 재사용이 가능

- 비광학적 방식의 타 측정장비에 비해 대면적 측정

- 기존 상용 현미경에 추가 장착할 수 있는 모듈 형식의 적용으로 장비 사용이 간편

주요기능/사양

- 적용가능 입자 크기: 수 um ~ 수백 nm

- 샘플 이동 없이 관찰 가능한 면적: 최대 0.1mm2 (60배 대물렌즈 기준)

- 측정 가능 정보: 결정 방향 및 그 차이에 따른 영역 경계 구분

응용분야

- 유전체 마이크로 입자 이중막을 템플릿으로 이용하는 나노 패터닝 측정용 광학현미경