클린환경

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기 술 명
초친수성 CMP 카트리지 필터 제조기술
연 구 자
김인수(지구환경공학부)
문 의 처
문희곤062-715-3077hgmoon@gist.ac.kr
소개자료
기술개요

- CMP 공정 중 필터를 이용한 슬러리 여과는 웨이퍼 스크래치를 감소시켜 전체 공정의 수율을 증가시킴

- 하지만 기존 소수성의 폴리프로필렌 여재를 사용하는 CMP 카트리지 필터는 슬러리가 통과하게 되면 필터 내부의 저항으로 큰 차압이 발생

- 특수하게 조합한 물질을 사용한 코팅을 통해 초친수성의 CMP 카트리지 필터를 제공하고자 함

기술의 특징/우수성

- 인체에 무해하고 경제적인 특수한 물질을 사용하여 손쉽고 빠른 코팅

- 초친수성을 뜀 → 표면 접촉각이 135º 에서 0º로 감소

- 코팅으로 인한 공극의 막힘이 없고 오히려 평균 공극 지름이 8% 증가

- 차압이 낮게 형성되어 안정화 시간이 단축되어 작업 속도를 향상 시킴

주요기능/사양

- 여재 자체의 친수도를 높여 필터의 저항을 감소시킴. 이로 인해 낮은 차압이 형성되어 안정화 시간을 단축 시킴

- CMP 슬러리의 제거율과 생산성을 높임과 동시에 바른 작업 속도를 제공할 수 있음

응용분야

- 반도체, 제약 분야, CMP 슬러리, 식품 가공, 수처리 등