박막형 마이크로렌즈 제조방법
문희곤
hgmoon@gist.ac.kr
062-715-3077
기술개요
- 고굴절율의 실리콘 마이크로렌즈 어레이를 SOI 웨이퍼 상에 제작한 뒤 기판으로부터 분리하여 설치대상 기판에 전사하는 마이크로렌즈 제조방법
- 기존 유리 및 폴리머 재질의 마이크로렌즈와는 달리 고굴절율의 실리콘 재질이므로 고해상도의 영상 획득이 가능함
기술의 특징/우수성
- 목표 응용 분야에 적합한 곡률에 렌즈 어레이 전사가 가능함
- 다양한 형상 및 형질의 기판에 용이하게 집적할 수 있어 대량생산 및 정밀 가공이 가능함
- 입사 파장과 비슷한 크기의 마이크로렌즈로 기존 기하광학 회절 한계 극복이 가능함
주요기능/사양
- 마이크로렌즈 곡률: 5~50um
- 초점거리: 최소 400nm 최대 20um 이상
- 재질: Si(규소)
- 두께: 최소 300nm 최대 20um 이상
응용분야
- 고해상도 생체 화학 이미징, 생체모방 영상 장치, 3D 카메라 등에 응용이 가능함