저온 고압 열처리를 이용한 비휘발성 메모리의 제조방법이 개시된다. 비휘발성 메모리를 구성하는 게이트 구조물의 형성시에 2단계의 열처리가 수행된다. 2단계의 열처리는 고유전율 절연막…
본 발명은 웨이퍼 본딩 방법에 관한 것으로써, 특히 고압 수소 열처리를 이용한 저온 구리 웨이퍼 본딩방법에 관한 것이다. 본 발명은, 기존 공정 대비, 상대적으로 저온(<40…
