저항 변화 메모리 소자 및 저항 변화 메모리 소자 크로스 포인트 어레이를 제공한다. 상기 저항 변화 메모리 소자는 하부 전극과 상부 전극을 구비한다. 상기 하부 및 상부 전극들…
저온 고압 열처리를 이용한 비휘발성 메모리의 제조방법이 개시된다. 비휘발성 메모리를 구성하는 게이트 구조물의 형성시에 2단계의 열처리가 수행된다. 2단계의 열처리는 고유전율 절연막…
