기판 상에 외부 환경에 따라 스웰링이 발생하며, 스웰링에 의한 두께 변화에 따라 가시광 영역에서 위상차가 발생하는 동적변환 물질층과 초박막 금속층을 적층시킨 3층 구조의 도입으로…
통기성필름에 미세 홈을 연속적으로 가공할 수 있는 방법이 개시된다. 펄스 레이저를 이용하여 펄스의 중첩없이 하나의 펄스 레이저를 통해 미세 홈들을 연속적으로 가공한다. 펄스 레이저…
본 발명은 반도체 노광 공정에 이용될 수 있으며, 레이저에 선폭을 축소하기 위하여 엑시머 레이저에 결합될 수 있는 레이저의 선폭 축소 장치를 개시한다.본 발명의 레이저의 선폭 축소…
