본 발명은 반도체 노광 공정에 이용될 수 있으며, 레이저에 선폭을 축소하기 위하여 엑시머 레이저에 결합될 수 있는 레이저의 선폭 축소 장치를 개시한다.본 발명의 레이저의 선폭 축소…
