수소 가스 센서 및 그 제조 방법

IGZO를 포함하는 금속 산화물층 상에 Pd 나노 입자가 코팅된 구조에 의해, 낮은 수소 가스 농도에서도 검출 민감도가 우수한 수소 가스 센서 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다…