멤스 소자 및 흔들림 보정 장치

멤스 소자 및 흔들림 보정 장치가 개시된다. 멤스 소자는 기판; 상기 기판에 대하여 상대 이동되는 피구동부; 상기 피구동부 및 상기 기판에 연결되는 탄성부; 상기 기판에 고정되고…