광음향 신호 측정 장치 및 방법을 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 비접촉하여 검사대상으로부터 발생한 간섭신호를 측정함으로써, 광음향신호(Photoacoustic Sig…
검사광을 이용한 탄성체의 성질 측정 장치 및 방법을 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 비접촉하여 탄성체의 성질을 측정하는 장치에 있어서, 상기 탄성체로 출력할 검사광을 …
본 발명은 광을 조사하는 발광부; 및 상기 발광부에 대향 구비되면서 상기 발광부에서 조사된 광이 측정 파티클에 의해 산란할 때 산란하는 빛을 측정하여 측정 파티클의 크기를 분석하…
