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결합공진기형 선폭축소장치 및 이를 구비하는 레이저 공진기

본 발명은 결합공진기형 선폭축소장치의 회절격자로부터 0차 회절된 레이저 빔을 반사하여 회절격자에 재입사시키는 제 2 전반사경을 구비하는 결합공진기형 선폭축소장치 및 이를 구비하는 …

광주과학기술원,주식회사 엠에스엘 문해중,고도경
도전성 인터커넥터

본 발명은 수직방향으로만 전기를 도통시키도록 이루어고, 완충성능을 가지는 도전성 인터커넥터에 관한 것이다. 본 발명은 상하방향으로 관통하는 충진공이 복수 개 형성된 절연체; 및 도…

도전성 실리콘 소켓 및 그 제조방법

본 발명은 도전성 실리콘 소켓 및 그 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세히는 내부가 관통된 프레임부를 마련하여, 이러한 프레임부의 내부에 삽입되되, 상기 프레임부의 상단부보다 돌출…

광주과학기술원,주식회사 엠에스엘 문해중
도전성 소켓 및 그 제조방법

본 발명은 도전성 소켓 및 그 제조방법에 관한 것이다. 보다 상세히는 본 발명은 전기적 접속을 중계하는 적어도 하나 이상의 도전체가 마련되며 이러한 도전체가 삽입되며 도전체에 가해…

광주과학기술원,주식회사 엠에스엘 문해중
연성회로기판의 접속구조

본 발명은 연성회로기판(FPCB: Flexible Printed Circuit Board)의 접속구조에 관한 것이다.보다 상세하게는 연성회로기판 본체의 말단부에 위치한 접속부(이하…

광주과학기술원,주식회사 엠에스엘 문해중
실리콘 콘택터 및 그 표면 처리 방법

본 발명은 실리콘 콘택터 및 그 표면 처리 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 도전성 분말의 이탈을 억제하여 도전패턴의 도전성이 상실되는 것을 방지할 수 있는 실리콘 콘택터 및 …

광주과학기술원,주식회사 엠에스엘 문해중
레이저의 선폭 축소 장치

본 발명은 반도체 노광 공정에 이용될 수 있으며, 레이저에 선폭을 축소하기 위하여 엑시머 레이저에 결합될 수 있는 레이저의 선폭 축소 장치를 개시한다.본 발명의 레이저의 선폭 축소…

광주과학기술원,주식회사 엠에스엘 유태준,노영철,고도경,이종민,문해중