본 발명은 스캐너소자, 내재공간이 있는 하부 기판 및 반구형(semi-spherical)의 투과창으로 구성된 광스캐너 패키지에 관한 것이다. 반구형 투과창의 입사와 출사 위치에서…
본 발명은 정전형 광스캐너 패키지에 관한 것으로서, 고정 전극(11), 상기 고정 전극(11)과 콤(comb) 결합되어 구동되는 구동전극(12), 그리고 상기 구동 전극(12)의…
본 발명은 x축 및 이와 수직인 y축을 중심으로 미러가 회동할 수 있는 MEMS 미러 스캐너 구동 방법에 관한 것으로서, MEMS 미러 스캐너의 전달함수(T(f))를 구하는 단계;…
본 발명은 멤스 구동 장치에 대한 것이다. 본 발명은, 적어도 하나의 연결 링크가 돌출되어 구비된 피구동부의 상기 연결 링크에 연결되어 상기 피구동부를 구동하는 구동부를 포함하고…
본 발명에 따른 스캔각이 지레증폭(leverage amplification)되는 마이크로 스캐너에는, 일면에 반사층을 가지는 피구동체; 상기 피구동체를 가운데에 두는 한 쌍의 구동…
본 발명에 따른 마이크로 스캐너에는, 제 1 질량부; 상기 제 1 질량부의 이격되는 외부에 상기 제 1 질량부와 동일 중심으로 제공되는 제 1 구동부; 상기 제 1 구동부의 이격되…
본 발명은 오토포커스(AF) 및 손떨림 보정(OIS) 기능을 위해 하나의 구동부 세트를 통해 다자유도 구동이 가능한 다자유도 미소 구동장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 다자유…
본 발명은 고정기판, 상기 고정기판에 대하여 제1 방향으로 상대 이동되는 제1 구동부, 상기 제1 구동부에 대하여 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 상대 이동되는 제2 구동부…
멤스 소자 및 흔들림 보정 장치가 개시된다. 멤스 소자는 기판; 상기 기판에 대하여 상대 이동되는 피구동부; 상기 피구동부 및 상기 기판에 연결되는 탄성부; 상기 기판에 고정되고…