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MEMS 미러 스캐너 구동 방법 및 위 방법을 이용한 MEMS 미러 스캐너 구동 장치

본 발명은 x축 및 이와 수직인 y축을 중심으로 미러가 회동할 수 있는 MEMS 미러 스캐너 구동 방법에 관한 것으로서, MEMS 미러 스캐너의 전달함수(T(f))를 구하는 단계;…

광주과학기술원,주식회사 위멤스 이종현,김광현,문승환