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멤스 소자 및 흔들림 보정 장치

본 발명은 고정기판, 상기 고정기판에 대하여 제1 방향으로 상대 이동되는 제1 구동부, 상기 제1 구동부에 대하여 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 상대 이동되는 제2 구동부…

광주과학기술원,엘지이노텍 주식회사 고용준,서정기,이종현,문승환