그래핀 박막 이송 방법 및 이를 이용한 소자
METHOD FOR TRANSFERING GRAPHENE FILMS AND DEVICE USING THE SAME
출원번호 : 1020150100951 / 20150716
등록번호 : 1015842220000 / 20160105

광주과학기술원 이광희,강영호,이종훈,이병훈

초록

그래핀 박막 이송 방법 및 이를 이용한 소자가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 박막 이송 방법은 기재 상부에 형성된 그래핀 박막에 지지박막을 부착시키는 제1 단계; 상기 기재를 제거하는 제2 단계; 및 상기 그래핀 박막이 부착된 지지박막을 기능층으로 포함하는 소자를 제작하는 제3 단계를 포함한다.

대표청구항

기재 상부에 형성된 그래핀 박막에 지지박막을 부착시키는 제1 단계;
상기 기재를 제거하는 제2 단계; 및
상기 그래핀 박막이 부착된 지지박막을 기능층으로 포함하는 소자를 제작하는 제3 단계를 포함하고,
상기 지지박막은 PEDOT:PSS(폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜):폴리스티렌설포네이트)로 제조되며,
상기 제1 단계 및 제2 단계 사이에,
적층된 상기 기재, 그래핀 박막 및 지지박막을 극성 용액에 담금 처리하는 단계를 더 포함하는 그래핀 박막 이송 방법.

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