강탄성 유전 박막 구조체, 및 이를 이용한 전자 소자
Ferroelastic dielectric layer structure, and electronic device using the same
출원번호 : 1020190158495 / 20191202
등록번호 : 1022600030000 / 20210528

광주과학기술원 조지영,이현준

초록

강탄성 유전 박막 구조체가 제공된다. 상기 강탄성 유전 박막 구조체는, 기판, 상기 기판 상에 배치되고, 유전 박막, 및 상기 유전 박막 상의 상부 전극을 포함하되, 상기 기판 및 상기 상부 전극 사이에 인가되는 전기장에 의해, 상기 유전 박막은, 제1 분극 도메인에서 상기 제1 분극 도메인의 분극 방향과 직각인 제2 분극 도메인을 갖도록 변화되되, 상기 제1 분극 도메인에서 상기 제2 분극 도메인으로 변화되는 과정에서 일정 시간 동안 중간 도메인을 가질 수 있다.

대표청구항

기판;
상기 기판 상에 배치되고, 유전 박막; 및
상기 유전 박막 상의 상부 전극을 포함하되,
상기 기판 및 상기 상부 전극 사이에 인가되는 전기장에 의해, 상기 유전 박막은, 제1 분극 도메인에서 상기 제1 분극 도메인의 분극 방향과 직각인 제2 분극 도메인을 갖도록 변화되되, 상기 제1 분극 도메인에서 상기 제2 분극 도메인으로 변화되는 과정에서 일정 시간 동안 중간 도메인을 갖는 것을 포함하되,
상기 기판 및 상기 상부 전극 사이에 인가된 전기장이 소거되는 경우,
상기 유전 박막이 상기 제2 분극 도메인에서 상기 중간 도메인을 거쳐 상기 제1 분극 도메인을 갖도록 가역적으로 복귀되는 것을 포함하는 강탄성 유전 박막 구조체.

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