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다중 패브리-페로 공진 모드와 다중 흡수 모드를 이용한 투과형 이미지 변조기
Transmissive image modulator using multi Fabry-Perot resonant modes and multi absorption modes
출원번호 : 1020110133052 / 20111212
등록번호 : 1019411700000 / 20190116
광주과학기술원,삼성전자주식회사 조용철,이용탁,나병훈,박창영,박용화,유장우,최희주


초록

다중 패브리-페로 공진 모드와 다중 흡수 모드를 이용하여 넓은 대역폭에 걸쳐 이미지 변조가 가능한 투과형 이미지 변조기가 개시된다. 투과형 이미지 변조기는, 하부 반사층; 상기 하부 반사층 위에 배치된 것으로, 다수의 양자우물층과 다수의 장벽층을 포함하는 활성층; 상기 활성층 위에 배치된 상부 반사층; 상기 하부 반사층 내에 배치된 적어도 하나의 제 1 마이크로 캐비티층; 및 상기 상부 반사층 내에 배치된 적어도 하나의 제 2 마이크로 캐비티층;을 포함하며, 공진 파장을 λ라 할 때, 상기 활성층과 상기 적어도 하나의 제 1 및 제 2 마이크로 캐비티층은 λ/2의 정수배의 광학적 두께를 가질 수 있다.


대표청구항
하부 반사층;
상기 하부 반사층 위에 배치된 것으로, 다수의 양자우물층과 다수의 장벽층을 포함하는 활성층;
상기 활성층 위에 배치된 상부 반사층;
상기 하부 반사층 내에 배치된 적어도 하나의 제 1 마이크로 캐비티층; 및
상기 상부 반사층 내에 배치된 적어도 하나의 제 2 마이크로 캐비티층;을 포함하며,
공진 파장을 λ라 할 때, 상기 활성층과 상기 적어도 하나의 제 1 및 제 2 마이크로 캐비티층은 λ/2의 정수배의 광학적 두께를 가지며,
상기 적어도 하나의 제 1 및 제 2 마이크로 캐비티층은 패브리-페로 공진기의 역할을 하도록 구성되고,
상기 하부 반사층은, 제 1 하부 반사층, 상기 제 1 하부 반사층 위에 배치된 상기 제 1 마이크로 캐비티층, 상기 제 1 마이크로 캐비티층 위에 배치된 제 1 위상 매칭층, 및 상기 제 1 위상 매칭층 위에 배치된 제 2 하부 반사층을 포함하며,
상기 제 1 하부 반사층은 굴절률이 서로 다르고 반복적으로 교호하여 적층된 다수의 제 1 굴절률층과 다수의 제 2 굴절률층의 제 1 쌍을 포함하며, 상기 제 1 마이크로 캐비티층은 제 1 굴절률층으로 이루어지고, 상기 위상 매칭층은 제 2 굴절률층으로 이루어지며, 상기 제 2 하부 반사층은 다수의 제 1 굴절률층과 다수의 제 2 굴절률층의 제 2 쌍을 포함하고,
상기 상부 반사층은, 상기 활성층 위에 배치된 제 1 상부 반사층, 상기 제 1 상부 반사층 위에 배치된 제 2 위상 매칭층, 상기 제 2 위상 매치층 위에 배치된 상기 제 2 마이크로 캐비티층, 및 상기 제 2 마이크로 캐비티층 위에 배치된 제 2 상부 반사층을 포함하며,
상기 제 1 상부 반사층은 다수의 제 2 굴절률층과 다수의 제 1 굴절률층의 제 3 쌍을 포함하며, 상기 제 2 위상 매칭층은 제 2 굴절률층으로 이루어지고, 상기 제 2 마이크로 캐비티층은 제 1 굴절률층으로 이루어지며, 상기 제 2 상부 반사층은 다수의 제 2 굴절률층과 다수의 제 1 굴절률층의 제 4 쌍을 포함하고,
상기 제 1 쌍의 갯수는 상기 제 2 쌍의 갯수보다 작고 상기 제 3 쌍의 갯수는 상기 제 4 쌍의 갯수보다 많은 투과형 이미지 변조기.

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